品牌 | 北京燕京电子有限公司 | 型号 | 暂无 |
自动测量大样本的薄层电阻高达非接触模式300×300平方毫米(12×12英寸)。在手动样品定位时,该设备会自动测量并显示整个样品区域的薄层电阻的准确映射。测量设置允许轻松灵活地在低于 1 分钟的快速测量时间或超过 100,000 个测量点的高空间测量分辨率之间进行选择。
优势
非接触式
快速精确的测量
导电薄膜的高分辨率映射
对最大 300 x 300 毫米(12 x 12 英寸)的基板进行成像
甚至隐藏和封装的导电层的表征
各种软件集成分析功能(例如薄层电阻分布、线扫描、单点分析)
测量数据保存和导出功能
缺陷检测和涂层分析
测量
技术:非接触涡流
通过多点映射成像
定位区域:300 mm x 300 mm
取样面积:300 x 300 mm
推荐的样品尺寸:1 英寸至 12 英寸或 25 至 300 毫米
软件和设备控制
非常人性化的软件
实时测绘测量
易于使用的统计分析选项
预定义的测量和产品配方(尺寸、间距、阈值)
线扫描、直方图和面积分析
黑色和彩色图像编码
CSV 和 pdf 导出
PC 汇总和导出
3 用户级别
用于参数转换的材料数据库
边缘效果补偿
数据的存储和导入
数据集的导出(例如到 EddyEva、MS Excel、Origin)
电阻测试仪参数
非接触式涡流传感器
基材
晶圆、玻璃、箔等
最大限度。扫描区域
12 英寸/300 毫米 x 300 毫米(根据要求更大)
边缘效应校正/排除
2 – 10 毫米(取决于尺寸、范围、设置和要求)
最大限度。样品厚度/传感器间隙
3 / 5 / 10 / 15 毫米(由最厚的样品定义)
金属薄膜(如铝、铜)的厚度测量
2 nm – 2 mm (根据薄层电阻)
扫描间距
1 / 2.5 / 5 / 10 / 25 毫米(其他应要求提供)
每次测量点数(方形样品)
0.5 分钟 100
个测量点 3 分钟 10,000 个测量点
扫描时间
8 英寸/200 毫米 x 200 毫米,1 至 10 分钟(1 – 10 毫米间距)
12 英寸/300 毫米 x 300 毫米,2 至 6 分钟(2.5 – 25 毫米间距)
设备尺寸 (w/h/d)
31.5” x 19.1” x 33.5” / 785 毫米 x 486 毫米 x 850 毫米
重量
90公斤
更多可用功能
金属厚度成像、各向异性和薄层电阻传感器
VLSR - 极低薄层电阻,LSR - 低薄层电阻,MSR - 中等薄层电阻,HSR - 高薄层电阻,VHSR - 极高薄层电阻
升级测试
薄层电阻测试仪 (Ohm/sq、OPS、Ohm per square)
金属层厚度测试仪 (nm, µm, mil)
电阻率和电导率成像 – [mOhm*cm, MS/m]
各向异性和薄层电阻测试仪 (MD/TD)
湿涂层厚度和残留水分 – HF
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