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品牌 | 苏州普乐斯 | 型号 | NC-450 |

触摸屏操作界面
数字及图标多重工艺参数实时显示
三色灯异常报警功能
自动/手动操作模式切换
可存储多套工艺配方
远程操控,数据导出(可选)
均匀性好均匀性一致性良好
数字及图标多重工艺参数实时显示
三色灯异常报警功能
自动/手动操作模式切换
可存储多套工艺配方
远程操控,数据导出(可选)
均匀性好均匀性一致性良好


型号 | NC-450 | |
控制系统 | 控制方式 | 全自动控制(自动/手动切换) |
PLC(标配)/PC(可选) | ||
操作系统 | Windows 10 | |
触摸屏 | 7寸 | |
整机规格 | 尺寸 | W625×D216×H220mm |
腔体 | 尺寸 | Φ450×40mm |
材质 | 铝合金(标配)/不锈钢(可选) | |
电源 | 冷却 | 空气冷却 |
重量 | 35KG | |
运行 | 温度 | 5℃-35℃(入口处标准) |
湿度 | 15% ~ 85% (相对湿度) | |
真空计 | 皮拉尼式真空计 | 1个 |
流量计 | MFC | 3个;Ar、N2、O2、CF4(可选) |
真空泵 | 干式泵 | 1套 |
发生器 | 射频 | 13.56MHz,0~1000W |
额定功率 | 整机峰值功率 | 13KW |
机台供电 | 三相五线式 | AC-380V |
选购品 | 防腐流量计、防腐真空计、防腐真空泵、防腐密封圈、石英舟、温度传感器、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、非标法兰、陶瓷紧固件 |