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那诺-马斯特 双腔体真空工艺系统
品牌美国那诺-马斯特
型号双腔体真空工艺系统
同类产品双腔体真空工艺系统(1件)
供应商报价

面议

所在地美洲 美国
那诺—马斯特中国有限公司

第1年

企业类型:
所在地:香港 香港

售全国

经营业务:
更新时间:2024-06-22 09:42:22
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最新产品

那诺-马斯特 双腔体真空工艺系统技术参数
品牌 美国那诺-马斯特 型号 双腔体真空工艺系统
那诺-马斯特 双腔体真空工艺系统产品特点
NANO-MASTER支持两个系统的任意组合。在产品册上可找到的ALD,溅射,蒸镀,离子铣或IBE,RIE,PECVD等均可以配置为双系统。通过共享真空系统和可能的离子源电源,成本得以下降。腔体通过门
那诺-马斯特 双腔体真空工艺系统详细介绍

NANO-MASTER支持两个系统的任意组合。在产品册上可找到的ALD,溅射,蒸镀,离子铣或IBE,RIE,PECVD等均可以配置为双系统。通过共享真空系统和可能的离子源电源,成本得以下降。腔体通过门阀相互隔离并可以独立抽真空和卸真空。进样室或真空腔体之间的传输可以选配。


特点:

  • 26”x44”占地面积及密封面板柜体,对超净间非常理想

  • 基于计算机全自动工艺控制,菜单驱动

  • 控制系统通过选择用户权限自动切换

  • LabView友好用户界面

  • EMO保护及安全联锁

  • 共享两套系统的各自功能(参考各自的系统)


应用:

  • 各种刻蚀应用

  • 各种薄膜沉积应用

  • 各种生长应用

  • 不间断真空环境的双工序应用

  • 具体应用可以参考两个系统的各自应用

选配:

  • 自动上下片(任意腔体)

  • 前级泵升级为干泵

  • 分子泵可以升级为680L/Sec或1200L/Sec

  • ​两个腔体之间自带传输腔,实现前后双工序

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