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哥廷根激光 LLG 极紫外/远紫外波前传感器
品牌LLG
型号 LLG-EUV/XUV-S
同类产品新型激光器和系统(34件)
供应商报价

面议

所在地上海 浦东新区
北京欧兰科技发展有限公司

第1年

企业类型:国有
所在地:北京 海淀区

售全国

经营业务:
更新时间:2024-06-22 09:42:20
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哥廷根激光 LLG 极紫外/远紫外波前传感器技术参数
品牌 LLG 型号 LLG-EUV/XUV-S
哥廷根激光 LLG 极紫外/远紫外波前传感器详细介绍

features:

? Hartmann wavefront sensor for coherent and incoherent radiation
?Compact and self-supporting
?Achromatic
?Actinic characterization of: EUVL plasma sources
                                               Free Electron Lasers
                                               HHG beams
?Real-time optics adjustment
?Single-pulse repeatability λ/116 (wrms) for EUV (λ =13.5 nm)

Specifications:

?Wavelength range< 1 nm... 60 nm (quantumconverter)
?Field of view 9.0mm x 6.7 mm(larger on request)
?Dynamic range14 bit
?Hartmann plate precision pinholes ?75μm, 250μm pitch
?Tilt range±10°
?x/y translation range±10mm
?UHV compatiblemounted on CF63 flange


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