控制系统

控制方式

全自动控制（自动/手动切换）

PLC

操作系统

无

触摸屏

小

电极规格

尺寸

W625×D216×H220mm

处理器

处理宽幅

宽度≤200-2000mm（可以根据客户要求定制最宽2米）

材质

铝合金（标配）/不锈钢（可选

冷却结构

空气

空气冷却

蚀刻能效

速率

≥0.5µm/Min

均匀性

≥90%

水滴角

原玻璃初始< 30°

处理后原玻璃: ≤5°， 6000mm/min

移动速度

根据生产线调整

由最终用户要求调整 ( 6000mm/min)

移动方式

生产线移动

水平/斜动轮轴输送机

接地方式

一种

1 种 地接方式 10Sq 以上 (10Ω一下, 独立地接)

工作温度

入口处标准

5℃ 至 + 35℃

湿度

相对湿度

15% ~ 85%

N2气流量

PF2A310-A ……………………200LPM 以下 电源供给装置锁定 联锁系统为了保护电极及电源供给装置，在电源供给装置启动前检查气体压力和流量的设置系统。