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离子束清洗 NIE-3000离子束清洗系统 那诺-马斯特
品牌美国那诺-马斯特
型号NIE-3000
同类产品离子束清洗系统(3件)
供应商报价

面议

所在地美洲 美国
那诺—马斯特中国有限公司

第1年

企业类型:
所在地:香港 香港

售全国

经营业务:
更新时间:2024-06-22 09:42:22
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最新产品

离子束清洗 NIE-3000离子束清洗系统 那诺-马斯特技术参数
品牌 美国那诺-马斯特 型号 NIE-3000
离子束清洗 NIE-3000离子束清洗系统 那诺-马斯特产品特点
NIE-3000离子束清洗系统:是一款手动放片/取片,但工艺过程为全自动计算机控制的台式离子束刻蚀系统,可以用于表面清洗、表面处理、离子铣等。
离子束清洗 NIE-3000离子束清洗系统 那诺-马斯特详细介绍

NIE-3000.png

NIE-3000离子束清洗系统产品概述:该系统为手动放片取片,但通过计算机全自动实现工艺控制的台式离子束刻蚀系统,系统具有结构紧凑、功能强大、自动化程度高、模块化设计易于维护、低成本的优势。


NIE-3000离子束清洗系统产品特点:

  • 低成本

  • 离子束:高达2KV/10mA

  • 离子电流密度100-360uA/cm2

  • 离子束直径:4",5",6"

  • 兼容反应及非反应气体(Ar, O2, CF4,Cl2)

  • 极限真空5x10-7Torr

  • 260l/s涡轮分子泵,串接500 l/min干泵

  • 14"不锈钢或铝质腔体

  • 水冷旋转/倾斜样品台(NIE-3500)

  • 自动上下载片(NIE-3500)

  • 基于LabView软件的PC计算机全自动控制

  • 占地面积30"x30"


产品应用:

  • 表面处理

  • 离子铣

  • 表面清洗

  • 带活性气体的离子束刻蚀:  光栅刻蚀,以及SiO2,Si和金属的深槽刻蚀


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