控制系统

控制方式

全自动控制（自动/手动切换）

PLC（标配）/PC（可选）

操作系统

Windows 10

触摸屏

10寸

整机规格

尺寸

W2000×D1800×H2400mm

重量

 约2500KG

占地面积

约2m*4m=8㎡

电极

结构尺寸

组合柜式， W458×D544×H425mm

分隔数量

8个料盒

托架

材质

铝合金（标配）/不锈钢（可选）

形状

平板式/滚轮式（可选）

真空计

皮拉尼式真空计

1个

流量计

MFC

2个；Ar、N2、H2（可选）

真空泵

机械油式旋片泵

1套

发生器

中频/射频

40KHz，0~1000W

13.56MHz，0~1000W

额定功率

整机峰值功率

40KW

机台供电

三相五线式

AC-380V

选购品

干式泵、双级旋片真空泵+罗茨泵（泵组）、托架、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、非标法兰、陶瓷紧固件