控制系统

控制方式

全自动控制（自动/手动切换）

PLC

操作系统

Windows 10

触摸屏

7寸

整机规格

尺寸

W460×D494×H734mm

腔体

尺寸

 Φ160×D250mm

材质

316不锈钢（标配）/铝合金（可选）

电极

尺寸

W100×D200mm

层数

1-2层，可选

托架

材质

需定制

层数

1层

真空计

皮拉尼式真空计

1个

流量计

MFC+浮子流量计

1路MFC，1路浮子流量计；Ar、N2、O2（可选）

真空泵

机械油式旋片泵

1套

发生器

中频/射频

40KHz，0~500W

13.56MHz，0~150W

额定功率

整机峰值功率

2KW

机台供电

单相三线式

AC-220V

选购品

干式泵、气浴电极（打孔）、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件