一、设备用途:
    Class 100百级洁净无尘烘箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
 

二、产品特点：
1、在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100级；
2、内胆四周氩弧焊，耐高温硅胶密封，SUS304#不锈钢加热器，防机台本身所产生微尘；
3、采平面水平送风后经美国进口H.E.P.A Filter装置往前 (特殊风道设计)方向送风，过滤效率99.99%，Class 100排气口：３"φ(附自动启闭风门)
4、箱内空气封闭强制自循环，经耐高温空气过滤器反复过滤，使干燥箱工作室内处于无尘状态。水平循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到最 佳温度控制精度。
5、配压差计随时了解过滤器工作状态。
 

三、洁净度100级的洁净热处理：
HEPA高效过滤器与前出风型水平层流循环方式实现并保证箱内的温度分布的均匀性与Class 100级洁净度最小限度控制风速距离。

四、技术参数：