摘要：自动实现标准6寸、8寸盘背光、表面光的自动拼接及识别，并实现缺陷判断。

云太基掩膜测量仪是在智能测量仪版本上细分的针对掩膜、晶圆开发的标准机，可实现标准6寸、8寸盘背光、表面光的自动拼接及识别，并实现缺陷判断。