型号：PMT-100C小型实验真空等离子处理仪

主机尺寸：W600×D500×H400mm

真空室规格：Φ160mm×D210mm，石英玻璃（4L）

电极板规格：120mm×180mm，单层

样品放置：平放/悬挂均可

电极结构：外置环形电极

电源系统：AC220V（±20%）

等离子发生器频率： 40KHz

等离子发生器功率：0～100W可调

流量计：两路，浮子流量计