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等离子清洗机 NPC-3000等离子去胶机(刻蚀机) 那诺-马斯特
品牌美国那诺-马斯特
型号NPC-3000
同类产品等离子去胶清洗及灰化系统(5件)
供应商报价

面议

所在地美洲 美国
那诺—马斯特中国有限公司

第1年

企业类型:
所在地:香港 香港

售全国

经营业务:
更新时间:2024-06-22 09:42:22
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最新产品

等离子清洗机 NPC-3000等离子去胶机(刻蚀机) 那诺-马斯特技术参数
品牌 美国那诺-马斯特 型号 NPC-3000
等离子清洗机 NPC-3000等离子去胶机(刻蚀机) 那诺-马斯特产品特点
NANO-MASTER 等离子去胶和等离子清洗机是专门设计用来满足晶圆批处理或单晶片处理,具有广泛应用,从晶圆的光刻胶剥离到表面改性都涉及到。该系列的设备采用PC控制,可以配套不同的等离子源,加热或不
等离子清洗机 NPC-3000等离子去胶机(刻蚀机) 那诺-马斯特详细介绍


NPC-3000等离子去胶机(刻蚀机)概述:NANO-MASTER 等离子去胶和清洗系统是专门设计用来满足晶圆批处理或者单晶片处理的广泛应用,从晶圆的光刻胶剥离到表面改性都涉及到。该系列的设备采用PC控制,可以配套不同的等离子源,加热或不加热基片夹具,具有*的能力:可以从PE等离子刻蚀切换到RIE刻蚀模式,也就是说可以支持各向同性和各向异性的各种应用。


NPC-3000.png


NPC-3000等离子去胶机(刻蚀机)产品特点

  • 台式系

  • 不锈钢、铝制腔体或钟罩式耐热玻璃腔

  • 兼容100级超净间使用

  • 淋浴头、ICP或微波等离子源

  • 旋转样品台

  • RF偏压可PID控制加热到300 °C或冷却的样品台

  • 全自动或手动RF调谐

  • z多可支持4个MFC带电抛光的气体管路

  • PC计算机控制的气动阀

  • 带密码保护的多级访问控制

  • 基于LabView软件的PC计算机全自动控制

  • 机械泵的压力可达到10mTorr

  • 250 l/s的涡轮分子泵

  • 极限真空为5x10-7Torr

  • 完整的安全联锁


应用:

  • 有机物以及无机物的残留物去除

  • 光刻胶剥离或灰化

  • 去残胶以及内腐蚀(深腐蚀)应用

  • 清洗微电子元件,电路板上的钻孔或铜线框架

  • 提高黏附性,消除键合问题

  • 塑料的表面改型:O2处理以改进涂覆性能

  • 产生亲水或疏水表面


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