品牌 | 美国Neocera | 型号 | Magma SSM HiRes |
产品简介
Magma磁场成像显微镜系统(简称Magma)是Neocera Magma公司研发的一种新型半导体失效分析工具。它拥有一套独特的传感器和技术,可以检测和定位所有静态缺陷。
Magma具有极大的可靠性,适用于探测开路、短路、漏电和高电阻开路的位置。此外,磁场成像可用于生成3D故障分析的深度信息,甚至可以用于多层器件。
在半导体失效分析领域,Magma可以定位微电子系统中的所有静态缺陷(短路、漏电和开路)。它可以容纳Die-level互连的300毫米晶圆、封装的PC板、以及所有类型的封装器件,包括各种具有异质集成的多芯片模块器件、叠层器件、3DICs和SiP。
新型平台的设计使用了终端用户的输入,以提供用户友好型的设置和操作,以及更高的工作量和更低的运营成本。
基础配置:配备高灵敏度的SQUID传感器,用于低电流、无损检测短路、漏电和高电阻开路。可实现低成本定位,用于检测封装器件和PC板中的短路及漏电。
EFI工具:能够以极高的精确度检测失效的开路故障。
HiRes工具:将两个传感器组合成一个工具。在靠近电流扫描时,SQUID传感器用于检测尽可能最小的电流,磁阻传感器用于获得空间分辨率。因此,其具有两方面的优点:空间定位和灵敏度。
仪器参数
特点 | 详情 |
SQUID 传感器 | |
短路缺陷定位 (SQUID) | 3um |
空间分辨率 (SQUID) | 2um |
总扫描面积 (SQUID) | 至少 100mm by 100mm |
当前灵敏度 (SQUID) | · 500nA @ 333um · 1.5uA @ 1000um |
磁敏感性 (SQUID) | 15 pT/√Hz Typical |
成像深度 (SQUID) | 10mm |
工作频率 (SQUID) | DC to 25kHz |
HiRes 传感器 | |
短路缺陷定位 (HiRes) | 250nm |
空间分辨率 (HiRes) | 500nm |
总扫描面积 (HiRes) | 至少 100mm by 100mm |
当前灵敏度 (HiRes) | · 5uA @ 2um · 100uA @ 100um |
磁敏感性 (HiRes) | 10nT/√Hz Typical |
工作频率 (HiRes) | 10kHz to 200kHz |
成像深度 (HiRes) | <100um |
其他参数 | |
功能发电机 | ±10V @ 100mA |
功能发电机频率 | DC to 200kHz |
镜头分辨率 | 2um (in NIR or Visible) |
电源 | · 110 - 120V @ 20A · 220 - 240V@ 10A |
操作系统 | Windows 10 64-bit |
产品应用
1、该仪器是一种双磁传感器系统,可以将SSM工具的性能扩展到模具(可以是全晶片,也可以是复杂的3D TSV或线焊设备)。该仪器使用非破坏性技术在模具、封装和PC板层面创建设备当前图像。然后,当前图像可以与光学基准和设计数据结合使用,以定位三维静态缺陷。
2、该仪器将超导量子干涉器件传感器(SQUID)的高分辨率磁阻传感器相结合。采用两步方法,通过SQUID可以非常快速地映射设备内部电流产生的磁场,然后通过高分辨率传感器再次进行高\精\度和分辨率的映射。由于在典型设备中使用的大多数材料都有磁场渗透,所以不需要对设备进行反处理就可以开始定位故障。
3、此外,两个传感器均只需要很小的电流,这样可以保护被测设备免受进一步的损坏,并且可能是在尝试检测具有非常高电阻(100k ω)的电路故障时的选择。
4、该仪器可以分析的典型故障包括短路、泄漏和电阻开启。该系统可用于成像交流和/或直流磁场(同样,电流)取决于设备的要求。