1 仪器功能

基于等离子体发射光谱方法，TA-100-HE氦气纯度分析仪采用智能化数字处理技术实现N2气体浓度的分析过程，用于工业流程和科学实验室中在线分析惰性气体氦气中的杂质N2气体浓度，具有自动化程度高、功能强、操作简便和数字通信等特点。

2 技术指标

典型量程：99.999%～100%VOL；99.99%～100%；0～10×10-6；0～100×10-6

工作环境温度: (5～40)℃

稳定性：      ±1%FS/24h

重复性：   0.5%

线性偏差： ±1%FS

响应时间（T90）：≤30s

本仪器采用483mm（19″）嵌入式机箱，可安装于483mm（19″）标准机柜内。本仪器属于非防爆型电气设备，禁止在有爆炸危险的场所使用。

3 样气条件

样气温度：5～40℃

样气流量：50mL/min～150mL/min

含水量：露点≤4℃

含尘量：≤0.1um

不含杂质气体(O2,CH4,H2,CO)

4 工作原理

仪器采用高频高压电源电离气体，产生正电荷离子和自由电子，形成等离子体环境，其中的N2分子被电离成原子。正电荷离子、自由点在电场的作用下分别加速移向负极、正极。由于碰撞，离子和电子将自身能量传递给原子，使得气态原子被激发。原子被激发后，其外层电子发生能级跃迁，在返回基态时发射特征光谱。通过对特征光谱的检测，分析出微量氮气的浓度。

5 技术特点

u 原子发射光谱，准确度高。

u 高频高压电离源，稳定性好，且无放射性问题。

u 无消耗性部件，仪器使用寿命长。

u 高精度MFC控制样气流量。

u 彩色液晶屏显示，显示信息清晰。

u 触摸屏操作，操作简便。

u 4-20mA电流环输出。

u 8路开关量（继电器）输出。

u RS232通信，易于扩展成RS485。

6 典型工程应用领域

u 空分系统

u 氩气净化系统

u 氦气净化系统

u 氩气、氦气高纯检测分析

u 冶金行业

u 科学实验室

u 低温废物填充站