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金铠仪器 CVD反应装置
品牌金铠仪器
型号-
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供应商报价

面议

所在地辽宁
金铠仪器(大连)股份有限公司

第1年

企业类型:
所在地:辽宁

售全国

经营业务:
更新时间:2024-06-22 09:42:20
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金铠仪器 CVD反应装置技术参数
品牌 金铠仪器 型号 -
金铠仪器 CVD反应装置详细介绍

装置概述

本装置是CVD反应装置,拥有四个气路,两套独立的气路控制单元,加热炉安装在装置的侧面上下安装,精密的仪表控制加热炉炉温和气体流量,具有可靠性高,操作简便,结构紧凑的特点。该装置可用于化学沉积及与CVD特点相似的材料制备过程。


技术参数

- 气路:1-4(任选);

- 加热炉:1-2(任选),加热炉温度Max:1000 ℃

- 气体质量流量器:0 - 500 mL/min(任选);

- 工作压力:常压;

- 温度控制:± 0.5 ℃;

- 计算机控制(任选)。


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