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那诺-马斯特 Platens样品台技术参数
品牌 | 美国那诺-马斯特 | 型号 | Platens样品台 |
那诺-马斯特 Platens样品台产品特点
Platens样品台,又称为基板或加热板,是真空镀膜设备中常用到关键部件。因此样品台可以整合到RIE刻蚀、ICP刻蚀、PECVD、ALD等刻蚀和沉积设备中,给晶圆等样片进行均匀加热和冷却处理,为微纳米
那诺-马斯特 Platens样品台详细介绍
NANO-MASTER(那诺-马斯特)Platens样品台,使用技术,加热均匀性极高。NANO-MASTER的样平台(或称为基板、热板)可以加入射频偏压、水冷却、通过模块控制700°C范围的温度。基板的高度可调节,基片可旋转,真空腔体内没有任何引线。任何地方不会出现短路或电弧,因为所有引线、电热偶和冷却水管道都保持在大气压下。NM样品台可以直接安装到你的系统中,无论是RIE刻蚀、ICP刻蚀、ALE刻蚀,还是PECVD、ALD等沉积设备中,我们的基板都可以很方便的配套使用。
Platens样品台可应用的设备:
RIE反应离子刻蚀机
ICP感应耦合等离子刻蚀机
ALE原子层刻蚀设备
PECVD等离子增强化学气相沉积设备
ALD原子层沉积设备
其他设备
尺寸:
1-12英寸
可定制
Platens不同型号对应温度上限:
NM-LTP,低温热板,z高可加热到300°C
NM-MTP,中温热板,z高可加热到500°C
NM-HTP,高温热板,z高可加热到700°C
Different models allow for different temperature limits:
NM-LTP - Low Temperature Platen heatable up to 300°C
NM-MTP - Mid Temperature Platen heatable up to 500°C
NM-HTP - High Temperature Platen heatable up to 700°C