热反射（Thermo-Reflectance）方法基于超高速激光闪射系统，可测量基片上金属、陶瓷、聚合物薄膜的热物性参数，如：热扩散系数、导热系数、蓄热系数和界面热阻。由于激光闪射时间仅为纳秒（ns）量级，甚至可达到皮秒（ps）量级，此系统可测量厚度低至10nm 的薄膜。同时，系统提供不同的测量模式，以适应不同的基片情况（透明/ 不透明）。

技术参数：