技术参数：

电动位移台系统包括：线性位移台，XY位移台，升降位移台，旋转位移台，角位台，滤光轮，控制系统(步进电机/直流伺服) 
类型： 行程(mm) 负载 加速度 重复定位精度 定位误差 垂直偏差 横向偏差 
XY位移台:5.5 10N 0.2mm/s <20um <30um/100mm <2um <2um 
精密XY 行程(mm) 负载 加速度 重复定位精度 定位误差 垂直偏差 横向偏差 
位移台： 30 150N 40mm/s <2um <30um/100mm <5um <4um 
紧凑精密 行程(mm) 负载 加速度 重复定位精度 定位误差 垂直偏差 横向偏差 
XY位移台：50-130 40N 10mm/s <15um <15um/100mm <4um <4um 
紧凑高精 行程(mm) 负载 加速度 重复定位精度 定位误差 垂直偏差 横向偏差 
密XY位移台:50-130 40N 10mm/s <2um <16um/100mm <4um <4mm 
精密线性 负载 加速度 重复定位精度 定位误差 垂直偏差 横向偏差 
位移台： 100/150N 10mm/s <15um <25um/100mm <5um <8um 
高精密线 负载 加速度 重复定位精度 定位误差 垂直偏差 横向偏差 
性位移台:100N 30um <2um <16um/100mm <4um <4um 
升降 行程(mm) 加速度 负载(N) 重复定位精度 定位误差(um) 横向偏差 
位移台:10-30 10mm/s 90/200 <3um或<6um <60/<20 <10um 
旋转 旋转角 速度 径向负载(N) 轴向负载N 径向跳动 轴向跳动重复定位精度 
位移台：无限 Max3600°/s 10-200 10-200 <5um <5um Min.0.02° 
角向 角范围 负载 速度 重复定位精度 定位误差 旋转轴高 motor电压 
位移台:±20°7N 0.5°/s <0.2° <0.25° Max.65mm Max.40V 
参数 角范围 重复定位精度速度 轴向偏差 gear reduction motor电压 重量 
滤光轮:无限 Max.2600°/s <50um 2401:81 2.0V ～0.5Kg