仪器设备网(17net.com)欢迎您!

| 登录 注册
网站首页-资讯-专题- 微头条-话题-产品库- 品牌库-搜索-供应商- 展会-招标-采购- 社区-知识-技术-资料库-直播- 视频-课程

产品中心

当前位置:仪器设备网>产品中心> 那诺—马斯特中国有限公司>Etching刻蚀系统>IBE离子束刻蚀系统>那诺-马斯特 NIE-3500(A)全自动IBE离子束刻蚀

收藏

那诺-马斯特 NIE-3500(A)全自动IBE离子束刻蚀
品牌美国那诺-马斯特
型号NIE-3500(A)
同类产品IBE离子束刻蚀系统(8件)
供应商报价

面议

所在地美洲 美国
那诺—马斯特中国有限公司

第1年

企业类型:
所在地:香港 香港

售全国

经营业务:
更新时间:2024-06-22 09:42:22
进入展台

最新产品

那诺-马斯特 NIE-3500(A)全自动IBE离子束刻蚀技术参数
品牌 美国那诺-马斯特 型号 NIE-3500(A)
那诺-马斯特 NIE-3500(A)全自动IBE离子束刻蚀产品特点
是一款自动放片/取片,并且工艺过程为全自动计算机控制的紧凑型独立的立柜式离子束刻蚀系统,可以用于表面清洗、表面处理、离子铣。
那诺-马斯特 NIE-3500(A)全自动IBE离子束刻蚀详细介绍

NIE-3500(A)全自动IBE离子束刻蚀产品概述:该系统为全自动上下载片,并且通过计算机全自动实现工艺控制的紧凑型独立的立柜式离子束刻蚀系统,系统具有结构紧凑、功能强大、自动化程度高、模块化设计易于维护、低成本的优势。该系统所配套的所有核心组件均为。

该IBE离子束刻蚀系统具有很强的适应性,可根据不同的应用而按不同的配置进行建构。多样的样片夹具和离子源配置可支持用户不同的应用。用于离子铣系统的样片夹具可以支持±90°倾斜、旋转、水冷和背氦冷却。

我们的IBE离子束刻蚀系统可以把基片温度保持在50°C以内的能力。通过倾斜和旋转,可以刻蚀出带斜坡的槽,并且改善了对侧壁轮廓和径向均匀度的控制。不同的选配项可以用于不同的网格配置以及中和器。溅射选配项可以支持对新刻蚀金属表面的涂覆,以防氧化。此外,还可以选配单晶圆自动上下片功能。该系列IBM离子铣系统或IBE离子束刻蚀系统可以配置RF ICP离子源,升级为RIBE反应离子束刻蚀系统。


NIE-3500(A)全自动IBE离子束刻蚀产品特点:

  • 低成本

  • 带预真空锁,自动上下载片

  • 离子束:高达2KV/10mA

  • 离子电流密度100-360uA/cm2

  • 离子束直径:4",5",6"

  • 兼容反应及非反应气体(Ar, O2, CF4,Cl2)

  • 极限真空5x10-7Torr

  • 260l/s涡轮分子泵,串接500 l/min干泵

  • 14"不锈钢或铝质腔体

  • 水冷旋转/倾斜样品台(NIE-3500)

  • 自动上下载片(NIE-3500)

  • 基于LabView软件的PC计算机全自动控制

  • 占地面积30"x30"


NIE-3500(A)全自动IBE离子束刻蚀设备应用:

  • 表面处理

  • 离子铣

  • 表面清洗

  • 带活性气体的离子束刻蚀:  光栅刻蚀,以及SiO2,Si和金属的深槽刻蚀


在线留言

换一张?
取消