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1200℃双管滑动式单温区/多温区CVD系统技术参数
| 品牌 | 中环 | 型号 | 1200℃双管滑动式单温区/多温区CVD系统 |
1200℃双管滑动式单温区/多温区CVD系统详细介绍
产品用途：
此款CVD系统是专门为在金属箔上生长薄膜而设计，特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔
电极方面的研究，通过滑动炉实现快速加热和冷却。
产品组成：
CVD系统配置：
1.1200度开启式真空管式炉（可选配单温区及双温区）。
2.滑动系统分为手动、电动滑动，并配有风冷系统。
3.内外双石英管，采用真空可通气氛双法兰特殊连接。
4.多路气体流量控制系统（质子流量控制器和浮子流量控制器）
5.真空系统（可选配中真空或高真空）
产品特点：
产品独特性
1 控制电路选用模糊PID程控技术，该技术控温精度高，热惯性小，温度不过冲，性能可靠，操作简单。
2 气路快速连接法兰结构采用本公司独有的知识产权ZG设计,提高操作便捷性。
3 中真空系统具有真空度上下限自动控制功能，高真空系统采用高压强，耐冲击分子泵，防止意外漏气造成分子泵损坏，延长系统使用寿命。
4 (电动)滑动系统采用温度控制器自动控制炉体移动，等程序完成，炉体按设定的速度滑动，因有滑动限位功能，炉体不会发生碰撞，待样品露出炉体后，通过风冷系统快速降温。
5 双管真空密封法兰，反应气体可以在内外管之间发生反应，冷却气体可通过内管，从而使内管外壁温度降低。
系统名称 | 1200℃双管滑动式单/多温区CVD系统 | |
系统型号 | CVD-12II6SH-3Z/G | CVD-12III9SH-3Z/G |
最高温度 | 1200℃ | |
加热区长度 | 610mm | 940mm |
恒温区长度 | 400mm | 700mm |
温区 | 双温区 | 三温区 |
石英管管径 | 内管：Φ80mm 外管：Φ100mm | |
额定功率 | 4.8Kw | 7.2Kw |
额定电压 | 220V | 380V（三相） |
滑动距离 | 485mm | 650mm |
滑动方式 | 手动滑动/自动滑动(由温度控制器自动控制移动，当程序完成，炉子按设定的速度滑动） | |
温度控制 | 国产程序控温系统50段程序控温； | |
控制精度 | ±1℃ | |
炉管最高工作温度 | ＜1200℃ | |
双管法兰连接 | 采用双法兰双卡箍连接可扩展多功能，并且分别独立对内管和外管进行真空和气体流量控制.密封法兰与管件连接的地方采用多环密封技术，在密封法兰与管外壁间形成了密封，在管件外径误差较大的情况下密封仍然有效，该密封法兰的安装只需在第一次使用设备的时候安装 | |
气体控制方式 | 质量流量计 | |
气路数量 | 3路（可根据具体需要选配气路数量） | |
流量范围 | 0-500sccm(标准毫升/分，可选配）氮气标定 | |
精度 | ±1%F.S | |
响应时间 | ≤4sec | |
工作温度 | 5-45℃ | |
工作压力 | 进气压力0.05-0.3Mpa(表压力） | |
系统连接方式 | 采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪 | |
规格 | 高真空 | |
系统真空范围 | 1x10-3Pa-1x10-1Pa | |
真空泵 | 真空分子泵理论极限真空度 | |
炉体外形尺寸 | 480×770×605mm | 410×1100×605mm |
系统外形尺寸 | 530×1440×750mm(不含高真空) | |
系统总重量 | 340Kg | |
