薄膜生长设备

• 化学气相沉积（CVD）
• 原子层沉积
• 外延系统
• 物理气相沉积

工艺测量和检测设备

• 四探针测试仪
• 晶圆缺陷光学检测设备
• 薄膜应力测试仪
• 其他晶圆缺陷设备
• 光学薄膜测量
• 关键尺寸测量

集成电路测试与分选设备

• 探针台
• 半导体ATE设备

光刻及涂胶显影设备

• 激光直写光刻机
• 匀胶机
• 电子束刻蚀
• 涂胶显影设备
• 有掩模光刻机
• 纳米压印设备

热工艺设备/热处理设备

• 退火炉

硅片制备/晶体生长设备

• 单晶炉