103真空系统入口法兰kF40,出口KF25.分子泵极限真空6.5 x 10-6 Pa，启动功耗550W 。涡轮泵采用SD-5.出入口均为KF16，极限真空7 x 10-2mbar ，排气量为5.7

该系统采用分子泵作为主工作泵，采用机械泵作为分子泵前级泵，真空系统组成机械泵内部已配有隔断放气装置，真空系统组成它主要由连接管道，分子泵,机械泵构成，通过标准配件连接,全部采用不锈钢材料，电抛光处理。