该系统真空部分由高速直联（电机直接驱动）双级旋片油封式变容真空泵，及外围真空组件连接而成，可作为中、101机械泵系统低真空系统的主抽泵，也可作为罗茨泵、扩散泵、分子泵等中高真空、高真空系统的前级泵。并